半導(dǎo)體晶圓制造、光伏還原工藝、鋰電池化成車間普遍使用氫氣作為保護(hù)氣氛或工藝氣體。高純工藝腔體內(nèi)氫氣純度直接影響產(chǎn)品良率；車間管路、腔體泄漏會(huì)造成氫氣積聚，引發(fā)爆炸風(fēng)險(xiǎn)。對(duì)儀器測(cè)量精度、氣體抗干擾能力、續(xù)航能力都提出較高要求。藍(lán)景便攜式氫氣分析儀適配新能源與半導(dǎo)體潔凈車間檢測(cè)場(chǎng)景。

半導(dǎo)體高純工藝管控優(yōu)選熱導(dǎo)式機(jī)型，量程 0~100% vol，精準(zhǔn)分析保護(hù)氣氫氣純度，及時(shí)發(fā)現(xiàn)腔體漏氣、供氣不純等問(wèn)題；車間環(huán)境泄漏巡檢選用電化學(xué) ppm 級(jí)別機(jī)型，排查管道接頭、閥門微小泄漏。傳感器針對(duì)性優(yōu)化，抵御車間常見(jiàn)工藝副產(chǎn)物干擾，測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定、重復(fù)性≤±1%。

7 英寸觸控圖形界面直觀易用，實(shí)時(shí)曲線便于工藝人員觀察濃度波動(dòng)，支持自動(dòng)定時(shí)記錄數(shù)據(jù)，長(zhǎng)時(shí)間腔體取樣測(cè)試無(wú)需人工持續(xù)記錄。搭載先進(jìn) BMS 電池管理系統(tǒng)，精準(zhǔn)管控電量，避免潔凈車間巡檢中途停機(jī)。超長(zhǎng)續(xù)航機(jī)型連續(xù)工作可達(dá) 37 小時(shí)，滿足廠房多層車間巡回檢測(cè)。模塊化設(shè)計(jì)，過(guò)濾器易于更換，阻擋潔凈環(huán)境中少量粉塵，保護(hù)核心傳感器。

整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊輕便，折疊提手便于人員攜帶穿行生產(chǎn)線；支持?jǐn)U散式與泵吸式兩種進(jìn)氣方案，狹小設(shè)備腔體可外接采樣管路檢測(cè)。所有檢測(cè)數(shù)據(jù)通過(guò) USB 導(dǎo)出 Excel 格式報(bào)告，便于品質(zhì)部門存檔追溯。儀器工作溫濕度區(qū)間寬泛，適應(yīng)潔凈車間恒溫環(huán)境，也可用于外圍動(dòng)力氣體管路巡檢。

應(yīng)用場(chǎng)景涵蓋晶圓退火氣氛檢測(cè)、硅片光伏還原爐氫氣監(jiān)測(cè)、鋰電池車間氫氣泄漏巡檢、氣體輸送管路密封性測(cè)試。藍(lán)景便攜式氫氣分析儀依靠高精度、低漂移、長(zhǎng)續(xù)航特性，幫助新能源、半導(dǎo)體企業(yè)穩(wěn)定工藝參數(shù)，消除車間氫氣安全隱患，保障產(chǎn)品良率與生產(chǎn)安全。